Schreibzeit
Die minimale Belichtungszeit für einen bestimmten Bereich bei einer gegebenen Bestrahlungsdosis wird durch die folgende Formel beschrieben:
D o s i s ⋅ F l a ¨ c h e = S t r a h l s t r o m ⋅ B e l i c h t u n g s z e i t {\displaystyle \mathrm {Dosis\cdot Fl{\ddot {a}}che=Strahlstrom\cdot Belichtungszeit} } = G e s a m t l a d u n g d e r e i n f a l l e n d e n E l e k t r o n e n {\displaystyle =\mathrm {Gesamtladung\ der\ einfallenden\ Elektronen} }
Zum Beispiel beträgt die minimale Belichtungszeit für eine Fläche von 1 cm², einer Dosis von 10−3 C/cm² und einem Strahlstrom von 10−9 A ca. 106 s (ca. 12 Tage).
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«Lecture9 E-BEAM Direct WRITE SERIES»